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编译服务: 光电情报网信息监测服务平台 编译者: husisi 编译时间: 2021-9-28 点击量: 22

半导体行业历来有一代设备、一代工艺、一代产品的说法,设备始终走在工艺和产品的前面,因此半导体设备行业被视作芯片制造的基石,是半导体行业的基础和核心。设备的国产化率和技术节点是国产半导体设备两个最核心的指标,国产化率衡量当下的发展现状,技术节点决定未来的市场空间。

半导体设备最新国产化率

国产化率是难以精确统计的,判断国产化率,主要通过国内晶圆厂公开的招标数据进行测算,这些数据是有很强的代表性。

晶圆厂半导体设备招标总体情况:

设备三大件,光刻、刻蚀和薄膜沉积占半导体设备的市场份额超过60%,今年总的招标数超过440台,其中光刻机招标20台,刻蚀机170台,薄膜沉积设备招标254台。

检测、清洗、抛光研磨、离子注入等设备合计招标556台,总的前道设备招标数刚好1000台,这是晶圆厂半导体设备公开招标的总体情况。

招标的晶圆厂和IDM主要有长江存储、中芯绍兴、华虹半导体、华力微电子、华润微、积塔半导体等等,其中长江存储的前道设备招标数是最多的,达到了365台,具有代表性,而大厂中芯国际公开的信息比较少,所以参考意义不大。

从中标的设备公司来看,北方华创的所有产品线合计中标132台。此外,中微公司中标6台,其中5台干法刻蚀,1台MOCVD,芯源微涂胶显影设备中标9台,盛美半导体中标13台清洗机,上海微电子中标1台光刻机,屹唐半导体中标18台去胶设备。

通过以上的晶圆厂招标和设备厂中标数据,从国内主要的12寸晶圆产线以及主要晶圆厂两个角度来看国产化率的变化。

12寸晶圆产线国产化率

统计在内的长江存储、华虹无锡、合肥晶合、上海华力二期4条12英寸晶圆产线的国产化率大致如下:

其中长江存储最高,超过15%,合肥晶合最低,国产化率3%,这四条12英寸生产线的整体国产化率约13%。

从具体的设备来看,4条产线国产化程度最高的是去胶设备,国产化率达到82%,抛光研磨、清洗设备、热处理、刻蚀机和PVD的国产化率均在20%以上。

从数据来看,12种细分设备有6种国产化率在20%以上,看上去是不错的数据,但是,价值量最高的光刻机、刻蚀机、薄膜沉积国产化率总体很低,刻蚀机情况稍微好一点,总体达到20%的国产化率。

薄膜沉积虽然PVD达到20%,但PVD只占薄膜沉积设备市场的20%,而市场更大的CVD,国产化率只有3%,光刻机现在只能说勉强的零突破。

我们设备的国产化目前主要集中在价值量相对较低的部分设备,而价值量高的设备,国产化率不乐观。

晶圆厂的国产化率

从统计在内的晶圆厂的国产化率来看,长江存储的设备国产化率稳步提高,占比越来越大,今年已经超过20%;国产化率最高的是上海积塔半导体,国产化率达到46%,今年提升12.7个百分点,今年国产化率相对较低的是上海华力和中芯绍兴,相对历史数据有所下滑。

其中长江存储的招标数最大,今年招标数占已公布招标总数的36%,具有很强的代表性,总的来看,晶圆厂的设备国产化率在逐步提升。

国产半导体设备的技术节点

芯片制造主要的八种设备中,除光刻机以外的其它设备基本上都推进到28nm节点,其中刻蚀、热处理和离子注入的部分设备技术节点已经突破了14nm,甚至推进到7nm、5nm。

从技术节点看,我们国产设备跟国际最先进的设备代差约为3-4代,等到更先进的光刻机出来之后,理论上我们似乎能够得出结论,28nm及以上的成熟工艺,可以实现全国产替代。

但实际差距会比理论上来得更大,因为图表中的数据只能说产品触及到了28nm,但产品丰富程度,满足不同的应用,实现里28nm还有不小距离。

以刻蚀机为例,长江存储已经公告中标的,涉及刻蚀工艺类别就多达80-90种,而中标最多的拉姆研究,仅刻蚀机一个品类,供应的设备多达40种不同工艺。

虽然说国产厂商华创主攻硅刻蚀和金属刻蚀,中微主攻介质刻蚀,且都取得了突破,但从中标数据来看,华创和中微的产品线跟拉姆研究还有不小的差距,虽然技术节点满足,但产品相对比较单一。

国外的设备商像设备超市,国内的设备商像商店,这是技术节点以外产品线的差距。

此外,国内半导体设备厂商与外国巨头在营收和研发投入方面差距很大。

以应用材料为例,近十年来每年的研发投入保持在营收的15%左右, 2019 财年研发投入约133.5亿人民币,而北方华创2020年研发投入6.7亿元,营收60.56亿元,应用材料同期营收约1118亿人民币。

这两年,国产半导体设备厂商通过定增募资积极扩产,加大研发投入,追赶国际巨头,今年上半年,北方华创研发投入14.96亿元,同比增加308%。

结语

客观来说,国产设备厂商在规模、技术、研发投入方向跟国外巨头有不小的差距,国产化率在提高,但并没有大多数人想象得那么快,目前仅为15%左右。

不过,我们也看到很多积极的变化,国家在产业政策、资本市场、专业人才方面的大力支持,通过合理的布局,国内半导体设备行业逐渐形成了产业闭环和小的生态,所有的设备都有公司在做,内部竞争相对较小。

总的来说,国产替代是一条道阻且长的路,需要持续投入,步步为营,稳步向前,真正实现国产替代还需要更多时间。

 
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